儀器中文名稱 : 奈米壓痕機械性質分析儀

儀器英文名稱 : Hysitron TI 980 TriboIndenter

儀器英文簡稱 :Nanoindenter

儀器設備說明 :

• 購置時間：105年12月
• 開放服務：106年4月
• 放置地點：工程一館145實驗室(E1-145 Lab)
• 廠牌型號：Hysitron TI 980 TriboIndenter
• 規格：

1.奈米壓痕模式

(1)力量加載方式：靜電壓驅動

(2)壓頭壓入樣品方式：垂直方向

(3)最大載荷：＜10 mN

(4)載荷(力量)分辨率：≤1 nN

(5)位移測量方式：電容傳感器

(6)最大位移：≥5 μm

(7)位移分辨率：≤0.006 nm

(8)熱漂移：≤0.05 nm/s

2.奈米刮痕模式

(1)通過一個二維傳感器，加載和檢測橫縱向的力量和位移

(2)最大橫向載荷力：2 mN

(3)橫向載荷分辨率：＜50 nN

(4)最大橫向位移：15μm

(5)橫向位移分辨率：＜0.02 nm

(6)熱漂移：≤0.05 nm/s

服務項目：

1.量測奈米尺度下之硬度(Hardness)、簡化模數(Reduced modulus)、力相關曲線圖

2.表面形貌掃描(scanning probe microscope，SPM)、表面粗糙度(Roughness)

3.刮痕製作、摩擦係數、附著力、力相關曲線圖

4.磨耗測試(以刮一道或單一直線反覆式刮痕，提供磨耗深度數據)

5.Nano DMA

6.模量掃描成像

7.快速打點

　（備註：校內外及產業擬委託第4~7之項目，請先來電討論評估後再預約）

樣本製備要求：

• 首次使用者必須先來電說明實驗項目、成分、態樣、膜厚、表面粗糙度、試樣大小等，以利評估試片分析可行性。    
• 試片尺寸須大於 1 cm x 1 cm，高度小於 4cm。
• 壓痕測試為降低基材效應影響，膜愈厚愈佳。（建議膜厚>有效接觸深度÷10%。有效接觸深度將依探針實際之面積函數校正結果而定，須來電確認）
• 壓痕測試對於表面粗糙度很敏感，故試片表面須乾淨，且粗糙度越低者佳，粗糙度高者，建議應先拋光較平整。（建議粗糙度小於20nm較佳）
• 薄膜須有良好附著力，不能太輕易剝落或具黏性，避免損壞壓痕或刮痕針頭。
• 試片底部固定面須平整無突起，以確保能有效固定。
• 目前暫不提供硬度40GPa以上之材料量測(如含DLC成分)

收費標準：

開放服務對象：校內、校外學術單位及產業界

聯絡資訊：

• 儀器負責教授: 周育任教授

TEL: (02)2737-6492

E-Mail: yu-jen.chou @mail.ntust.edu.tw

• 儀器負責技術員: 洪嘉彬先生

TEL: (02)2733-3141#6540、#3685

E-Mail: cbhung@mail.ntust.edu.tw